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ES-397 蚀刻灰化残留物清洗剂

  • 包装

    塑料桶

  • 规格

    25KG/桶、200KG/桶

  • 安全环保

  • 高性能

  • 销售热线

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    • 产品简介

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    • 产品特性

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    • 使用说明

      使用说明

    产品简介

    本品是由多种高效、环保清洗材料复合而成,对蚀刻或灰化后沉积在半导体基板或介电材料层上的残留物(光刻胶残留物、有机金属化合物、金属氧化物、金属氮化物等)有优异的清洁能力,而对曝露的衬底材料无腐蚀。


    产品特性

    a) 高效性:快速溶解各种残留物并使其脱落,操作简单方便。

    b) 安全性:对曝露的衬底材料无腐蚀。

    C)环保性:不含氨氮和磷等禁用物质,易降解,属于环保型产品。 


    使用说明

    根据实际工作条件,可采用浸泡清洗、超声波清洗等使用方法,一般建议采用原液加温至40℃~65℃使用,清洗时间可根据实际情况控制在3min~15min左右;清洗完成后用去离子水后超纯水清洗,清洗的次数和时间由现场工艺要求来决定。


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