ES-397 蚀刻灰化残留物清洗剂
包装
塑料桶
规格
25KG/桶、200KG/桶
本品是由多种高效、环保清洗材料复合而成,对蚀刻或灰化后沉积在半导体基板或介电材料层上的残留物(光刻胶残留物、有机金属化合物、金属氧化物、金属氮化物等)有优异的清洁能力,而对曝露的衬底材料无腐蚀。
a) 高效性:快速溶解各种残留物并使其脱落,操作简单方便。
b) 安全性:对曝露的衬底材料无腐蚀。
C)环保性:不含氨氮和磷等禁用物质,易降解,属于环保型产品。
根据实际工作条件,可采用浸泡清洗、超声波清洗等使用方法,一般建议采用原液加温至40℃~65℃使用,清洗时间可根据实际情况控制在3min~15min左右;清洗完成后用去离子水后超纯水清洗,清洗的次数和时间由现场工艺要求来决定。
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